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卓?？萍嫉顷懶氯澹簢鴥?nèi)規(guī)模最大的半導體前道量檢測修復設備供應商 已形成14nm制程修復工藝平臺

2024/8/5 15:54:32      挖貝網(wǎng) 周路遙

新三板又迎來一家行業(yè)龍頭企業(yè)——國內(nèi)規(guī)模最大的前道量檢測修復設備供應商卓海科技（874380）于今日正式登陸新三板并進入創(chuàng)新層。目前，卓海科技還處于上市輔導之中，輔導機構(gòu)為海通證券。

卓?？萍际且患覍Ｗ⒂诎雽w前道量檢測設備領域的企業(yè)。前道量檢測設備是指，以光、電子束等介質(zhì)作為主要工具，針對光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備等工藝設備的加工成果，進行關鍵指標的量測或潛在缺陷的檢測，其使用場景覆蓋芯片前道生產(chǎn)的幾乎全部工序。

目前卓?？萍嫉漠a(chǎn)品及服務得到了半導體行業(yè)知名客戶的廣泛認可，終端客戶覆蓋客戶 A、客戶 B、客戶 C、華虹半導體、士蘭微、客戶 D、華潤上華、客戶 G 等國內(nèi)主流芯片產(chǎn)線客戶，具備成熟的商業(yè)化能力和較強的市場影響力。

創(chuàng)新性方面，卓海科技是國家級專精特新小巨人企業(yè)。截至公開轉(zhuǎn)讓說明書簽署日，公司已取得專利 70 項，其中發(fā)明專利 30 項，另有 15 項專利正在申請中，其中發(fā)明專利 15 項；此外，公司還取得了軟件著作權(quán) 16 項。

業(yè)績方面，2022年至2023年前三季度，公司營收分別為3.14億元，1.93億元，歸母凈利潤分別為1.19億元，6872.51萬元。

國內(nèi)規(guī)模最大的前道量檢測修復設備供應商 已形成14nm制程修復工藝平臺

卓?？萍脊驹谇暗懒繖z測設備領域深耕十余年，具體來說，目前公司產(chǎn)品以前道量檢測修復設備為主，同時也致力于前道量檢測設備及核心組件的自主研發(fā)和芯片產(chǎn)線運維工作。

在修復設備領域， 卓?？萍际菄鴥?nèi)最大的前道量檢測修復設備企業(yè)，已形成最高可達 12 英寸、 14nm 制程的修復工藝平臺，為芯片的安全穩(wěn)定生產(chǎn)提供了有效保障。近年來，卓?？萍疾粩嚅_展與原廠修復部門的競爭，市場占有率持續(xù)提升，已由 2018 年的 2.07%增長至 2023 年的7.73%，

在自研設備領域， 卓海科技已經(jīng)完成了應力測量設備、 方塊電阻測量設備兩類自研整機設備的研發(fā)，相關技術指標達到國際原廠的同類產(chǎn)品水平，并已經(jīng)銷售給國內(nèi)多個知名芯片產(chǎn)線客戶，實現(xiàn)自研產(chǎn)品的商業(yè)化。

同時，卓?？萍汲掷m(xù)進行核心組件的研發(fā)和供應鏈的培育，已形成高重頻脈沖激光器、高壓電源裝置、精密傳輸系統(tǒng)等突破成果，不斷提高技術水平。

例如對缺陷檢測設備的核心組件-高重頻脈沖激光器而言，卓海科技在 60nm 制程節(jié)點已實現(xiàn)對應型號的規(guī)模量產(chǎn)及銷售；在40nm 制程節(jié)點已通過技術驗證，正在進行研發(fā)樣機轉(zhuǎn)產(chǎn)測試； 在 28nm 制程節(jié)點已通過技術驗證， 正在進行研發(fā)樣機制備。 公司正在開展無圖形晶圓缺陷檢測設備、薄膜膜厚測量設備的自主研發(fā)攻關，預計 2024 年形成樣機并進行技術驗證。